シャトルプログラム(MPW)

タワージャズのMPWシャトルプログラムは最大限の柔軟性を提供しつつ、全体の作業量を最小限に抑えます。

タワージャズは、半導体製造にとって不可欠な要素である、低コストで迅速な試作ができるシャトルプログラム(MPW)を提供しています。タワージャズのシャトルプログラムはお客様が迅速に試作品のテープアウトができ、マスクにかかる費用をこのサービスを利用する他のお客様とシェアすることにより抑えることができます。

MPWプログラムを利用することにより、お客様は、当社の標準製造プロセス技術を利用しIP、試作など広範囲の設計、検証が可能です。

MPW シャトルプログラム概要

お客様は確立した技術から、正式なプロセスフローや機能を選択することができます

マスク構成は、5㎜角チップで最大16タイル:

  • いくつかのシートは、弊社のR&DとPCMが入ります。
  • センターに位置するタイルは特性確認用に予約されています。

1度のMPWシャトル費用に含まれる内容:

  • GDSデータ作成、マスク作成並びにマスクセットの費用
  • ウエハープロセス費用
  • 標準のダイシングと裏面研磨費用
  • 数枚のウェハから最大60チップを送付

追加費用を要する特殊サービス:

  • 5㎜角よりタイルサイズが大きい場合
  • プロセス条件振り
  • 5㎜角チップ内に複数のチップがあり、さらにダイシングが必要な場合(Sub dicing)
  • 60個を超える場合の追加チップ
  • バンプ工程のために追加のウエハー単体が必要な場合
  • ITARに基づいた特殊なハンドリングが必要な場合

業界標準の裏面研磨厚には48時間の稼働時間で対応可能 (Fab 2 のみ)

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